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无尘室设计介绍

无尘室,也称洁净室,是指一个具有低污染水平的环境,这里所指的污染来源有灰尘,空气传播的微生物,悬浮颗粒,和化学挥发性气体。更准确地讲,一个洁净室具有一个受控的污染级别,污染级别可用每立方米的颗粒数,或者用大颗粒大小来厘定的。低级别的洁净室通常是没有经过消毒的(如没有受控的微生物),更多的是关心空气传播的灰尘。

无尘室的定义:空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除,而得到一个相当洁净的环境。亦即:这个环境中的微尘粒子相当少,称之为洁净室。洁净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业,例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药行业等,其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内,才不会对制程产生影响。作为生产设施,洁净室可以占据厂房很多位置。

无尘室系统制造符合规格之洁净空气,连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端,洁净室内的制造区。以下由立净简单介绍洁净室的处理流程:外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后,经由回风管道间,将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合,经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格,通过循环风扇或FFU带动洁净室的气流循环带走微尘及热量,后经过超高性能过滤网或过滤后,供应至Fab区。

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